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日本奥林巴斯Olympus OLS4100激光扫描显微镜

LEXT OLS4100是款激光扫描显微镜通过非接触方式进行样品表面三维形貌观察和测量可以方便快捷地获取影像,更精确的测量。更快速的操作。更高画质的影像。

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  • 存货编码: FA01-000061
  • 品牌: 日本奥林巴斯(日本)



LEXT OLS4100激光扫描显微镜 产品简介

奥林巴斯 3D 测量激光显微镜广泛应用于不同行业的质量控制、研究和开发过程,它在激光显微领域树立了全新的 标准。现在,为满足测量精度不断提高和测量范围日益扩大的需求,奥林巴斯推出了新型产品 LEXT OLS4100。 该产品不但可以让测量更加快速、简单,而且可以拍摄到更高画质的影像,大大突破了激光显微镜的界限。 全新的 OLYMPUS LEXT OLS4100。突破可能的界限。


 LEXT OLS4100激光扫描显微镜 产品优势

非接触式、无损测量

激光扫描显微镜(LSM)采用的是低功率激光,不接触样品。因此,不像基于探针系统的接触式表面粗糙度仪那样存在损坏样品的风险。

卓越的 XY 测量

 XY 平面精确测量亚微米级的距离

干涉仪是基于普通白光的光学显微镜,它的平面分辨率不高。而 LSM 通过采用更大数值孔径的物镜,和更小波长的光波,极大地提高了平面分辨率。并且通过高精度的激光控制技术,获得更为精确的样品表面形貌。根据拍摄到的图像,LSM可以进行非常精确的 XY 平面亚微 米测量。LEXT OLS4100 达到了0.12 μm 的平面分辨率。

   

无需前期准备即可成像

扫描电子显微镜(SEM)在观察之前需要进行前期的样品准备,如真空脱水和(或)切片处理使之适合样品室。而 LSM 则无需前期的样品准备即可对样品进行测量。而且,将样品放置在载物台上之后,即可直接开始成像。



更大的样品范围-轻松检测 85° 尖锐角

采用了有着高 N.A. 的专用物镜和专用光学系统(能大限度发挥 405 nm 激光性能),LEXT OLS4100 可以精确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。这有利于粗糙度的测量。


高度分辨率 10 nm,轻松测量微小轮廓

由于采用 405 nm 的短波长激光和更高数值孔径的物镜,OLS4100 达到了 0.12 μm 的平面分辨率。 因此,可以对样品的表面进行亚微米的测量。结合高精度的 0.8 nm 的光栅读取能力和软件算法,


克服反射率的差异

OLS4100 采用了双共焦系统,结合高灵敏度的探测器,那些具有不同反射率材料的样品, 也能在OLS4100上获得鲜明的影像。


观察/测量透明材料的各个层

多层模式可实现对透明样品的顶部的透明层进行观察和测量。即使在玻璃基片上覆有一层透明树脂层,也可测量出各层的形状和 粗糙度以及表面覆膜的厚度。




适用于透明层-多层模式

LEXT OLS4100 全新的多层模式则可以识别多层样品各层上反射光强度的峰值区域,并将各层设为焦点,这样即可实现对透明样品上表面的观察和测量,而且也可以对多层样品的各层进行分析和厚度测量。



工业领域首创的两项性能保证

通常表示测量仪器的测量精度的,有个指标:"正确性",即测量值与真正值的接近程度,和"重复性",即多次测量值的偏差程度。OLS4100 是业界首次同时保证了"正确性""重复性"的激光扫描显微镜。



更多的测量类型-7 种测量模式





更精准的粗糙度测量

作为表面粗糙度测量的新标准,奥林巴斯开发了 LEXT OLS4100。对LEXT OLS4100 进行了与接触式表面粗糙度测量仪同样的校正,并在 LEXT OLS4100 上配置了几乎所有必要的粗糙度参数和滤镜。这样,对于使用接触式表面粗糙度测量仪的用户来说,能得到操作性和互换性良好的输出结果。另外,还搭载了粗糙度专用模式,可以用自动拼接功能测量样品表面直线距离长为 100 mm 的粗糙度。


• 微细粗糙度

使用接触式表面粗糙度测量仪,无法测量比探针的针尖直径更细微的表面轮廓。而 OLS4100 有着微小的激光光斑直径,所 以能够对微细形状进行高分辨率的粗糙度测量。


• 非接触式测量

使用接触式表面粗糙度测量仪测量柔软的样品时,样品容易受到探针损伤而变形。另外,带有粘性的样品会粘在探针上,无法得到正确的测量结果。而非接触式的激光显微镜 OLS4100,不会影响样品的表面状态,可以准确的测量样品的表面粗糙度。


• 微米级特征的测量

使用接触式表面粗糙度测量仪,其探针无法进入微米级的区域,所以不能对这些区域的特征进行测量。而OLS4100 可以正确定位,能轻松测量出特定微小区域的粗糙度。


简易的三步流程

使用LEXT OLS4100,只需将样品放置在载物台上之后即可立即开始观察/测量。由于采用了简易的三步流程——成像、测量和报表——即使用户不熟悉激光显微镜,也可以快速掌握测量的流程。


快速的宏观图拼接

扫描大面积区域时有两种拼接方法可用 :获取实时影像时 的手动模式和快速获取影像时的自动模式。操作非常快速 简单——2D 拼接只需一键操作即可开始,并且可立即获得 大面积的拼接影像。自动模式下有五级拼接尺寸可用,分 别为 :3×35×57×79×9  21×21。对于影像上不 需要的部分,可以使用简单的鼠标或控制杆操作手动删除。


用于简易3D 成像的智能扫描

自动3D影像获取

传统的3D 扫描需要复杂的设置,这对新手来说非常困难。LEXT OLS4100 采用了全新的智能扫描模式,即使是初次使用的用户也只需一键操作即可快速获取3D 影像。除了上下限的设置,系统也会根据要获取的影像自动设置合适的亮度。这让即使是初次使用的用户也能获得精确的高度测量和优质的影像。


更快的扫描速度

新的超快模式获取扫描影像的速度是传统快速模式的2 倍,约是精细模式的9 倍。因此,对于那些需要非常精细的Z 轴移动和极高的放大倍率的样品,该模式就非常地适用,例如对刀具的尖端进行检测。


全新的高速拼接模式

从大范围拼接影像中指定目标区域

在宏观图中,要观察的区域可以从大范围的视图中进行指定。在自动模式中,通过设置多625 幅影像的矩形拼接尺寸,可以自动生成区域图,所需的时间大约只需要通常的一半。下一步,在区域图上指定所需的影像并立即开始观察。




手动指定所需的影像区域

在实时模式中,通过在屏幕上跟踪所需的区域,可以手动选择要观察的区域。当观察的样品具有不规则的形状时,该功能非常实用。


快速影像拼接

要使用智能扫描模式获取影像时,只需一键操作即可。由于智能扫描会自动调整Z 轴方向的设置,Z 轴方向的影像获取可以仅局限在所需的区域,因此可以在进行大范围大功率观察时节省很多时间。


一键操作定制报表

创建报表

OLS4100 在测量后可使用一键操作创建报表,而且使用编辑功能可以定制各个报表模板。将测量结果复制和粘贴到Word 或表格应用程序也非常简单,就像从数据库取回所需的影像和报表一样。


目标的一键解决方案

向导功能

为用户设计的详细的向导功能取消了冗长的培训,让新手也能快速简单地进行操作。


主机

LSM 部分

光源、检出系统

光源:405 nm 半导体激光 
检出系统:光电倍增管

总倍率

108x  17,280x

变焦

光学变焦1x  8x

测量

平面测量

重复性

00x: 3σn-1=0.02 µm

正确性

测量值的±2%以内

高度测量

方式

物镜转换器上下驱动方式

行程

10 mm

内置比例尺

0.8 nm 

移动分辨率

10 nm

显示分辨率

1 nm 

重复性

50x: σn-1=0.012 μm

正确性

0.2  L/100 μ以下(L=测量长度μm

彩色观察部分

光源、检查系统

光源:白色LED 
检查系统:1/1.8 英寸200 万像素单片CCD

变焦

数码变焦1x  8x

物镜转换器

孔电动物镜转换器

微分干涉单元

微分干涉滑片:U-DICR 
内置偏振光片单元

物镜

明视场平面半消色差透镜5x10x 
LEXT 专用平面复消色差透镜20x50x100x

对焦部分行程

100 mm 

XY 载物台

100×100 mm(电动载物台), 
选件: 300×300 mm(电动载物台)

此设备为专为在工业环境下实施检测设计的类设备。如在住宅区内使用可能会干扰其他设备。

物镜

型号

倍率

视场

工作距离(WD

数值孔径(N/A

MPLFLN5X

108x-864x

2,560-320 μm

20.0 mm

0.15

MPLFLN10X

216x-1,728x

1,280-160 μm

11.0 mm

0.30

MPLAPON20XLEXT

432x-3,456x

640-80 μm

1.0 mm

0.60

MPLAPON50XLEXT

1,080x-8,640x

256-32 μm

0.35 mm

0.95

MPLAPON100XLEXT

2,160x-17,280x

128-16 μm

0.35 mm

0.95


OLS4100 的基本原理

 405nm激光扫描

光学显微镜的水平分辨率很大程度上取决于所用光的光子和波长。采用短波长的激光扫描显微镜(LSM)比采用可见光 (550 nm 峰值)的传统显微镜,拥有更高的水平分辨率。LEXT OLS4100 所使用的是 405 nm 的短波长半导体激光,因此具有 优秀的平面分辨率。



2D 扫描系统

OLS4100 配有奥林巴斯独有的扫描加扫描型 2D 扫描仪,电磁 MEMS 扫描负责 X 方向,Galvano 振镜负责 Y 方向。该创新型系统使得扫描仪的轴 和物镜瞳镜处于共轭位置,这是一个理想的光学布局,该系统可以进行高速、低变形的高精度 XY 扫描,使得 OLS4100 可以实现高达 4096×4096 像素的高精度扫描。


共焦光学系统

共焦光学系统有两种特有效果 :去除模糊影像中的光斑、抽取同一高度平面。光斑的去除提升了 XY 的分辨率,加上只抽取同 一高度平面的功能,因此共焦光学系统也作为高度传感器来应用。OLS4100 配有奥林巴斯双共焦系统,即使具有不同反射率 的样品,也可以获得非常清晰的影像。针孔产生共焦效果,使得各个方向都拥有较佳的对比度。



CFO 检索

检测高度信息是 OLS4100 的一项基本功能。通 过在 Z 轴方向上移动物镜,检测出光强度变化 来获取高度信息。奥林巴斯的 CFO 技术可以自 动检测光强度以获取不连续的数据,获得理想 I-Z 曲线,从而计算出大亮度值和相应的 Z 轴 信息,用于确定影像的像素。CFO 技术可以获 得高重复性的数据。


OLS4100 光路图



清晰鲜明的 3D 彩色影像

三种类型的综合影像

LEXT OLS4100 可以同时获取三种不同类型的影像信息 :真彩3D影像、激光全焦点3D 影像和高度信息影像。


再现自然色

OLS4100 采用了白色的 LED 光源和高色彩保真度的 CCD 照相装置以生成清晰、色彩自然的影像,所得影像可以与高级的光 学显微镜相媲美。


更加真实地再现表面

激光DIC(激光微分干涉)

微分干涉观察是超越了激光显微镜的分辨率、可以观察到纳米以下微小表面轮廓的观察方法。LEXT OLS4100 通过安装在物镜上方的DIC 分光棱镜,将照明光横向分为两束光线来照射样品。获取由样品直接反射回来的两束光线的差,生成明暗对比,从而实现对微小凹凸的立体观察。LEXTOLS4100 拥有DIC 激光模式,即使是低倍率的动态观察,也能得到接近电子显微镜分辨率的影像。



亮度和对比度之间更加优化的平衡

HDR(高动态范围)影像

OLS4100 的高动态范围(HDR)功能结合了多张以不同曝光率获取的光学显微镜影像,并且分别控制着亮度、对比度、纹理和饱和度,因此HDR 可以以宽动态范围处理影像。OLS4100 尤其可以对纹理不明显的样品的彩色影像进行清晰地观察。

     


● 奥林巴斯(中国)有限公司是一家主营工业、医疗和消费者市场的国际公司,专业进行光学、电子学和精密性工程研究。 

● 有关奥林巴斯公司的财政、投资商关系、公司简介和公司历史等信息,请访问奥林巴斯全球业务信息网站。

● 该网站涵盖了各种工业技术的投资信息,包括创新型检测、测量和影像设备的投资信息。各种先进的检测技术,包括:内窥检测技术(RVI)、显微镜技术(IE)、超声波技术(UT)、相控阵技术(PA)、涡流技术(EC)、涡流阵列技术(ECA)、X射线荧光技术(XRF)和光学测量技术。我们的产品包括超声波探伤仪、测厚仪、内窥镜、管道镜、显微镜、先进的在线无损检测系统、XRFXRD分析仪、干涉仪,并有各种工业扫描仪、探头、软件程序和设备附件可供选择。

● 我们的宗旨是为全球的消费者提供可靠、经济的系统。为此,我们加强了系统的安全性和质量,保证了消费者的生产力,从而为社会作出贡献。我们一直积极开发新技术、新产品和新服务,保证始终用杰出的方案满足消费者的需求。因为产品的质量直接关系到我们对消费者的责任,因此在进行高质量的产品设计时,我们始终遵守高的工业标准和规章,以确保产品对公众的安全。

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